Projet de cluster multi-technique

Descriptif

Acquisition et installation d’un cluster de dépôts de films minces multi techniques couplant ALD / pulvérisation magnétron / Ablation laser / Evaporation thermique et caractérisations nanomécaniques pour les nouvelles générations de batteries. Code CPV concerné : 31712000-0 Machines et appareils microélectroniques et microsystèmes Si le projet vous intéresse, merci de remplir dans la mesure du possible le document joint et nous le renvoyer.

Contexte

Le CNRS va prochainement faire l’acquisition d’un cluster de dépôts de films minces multi techniques : dépôt par couche atomique (ALD) sur substrat et sur poudre, dépôt par pulvérisation combinatoire couplé avec de l’ALD, dépôt par évaporation thermique de lithium métallique (et autres métaux) couplé avec de l’ALD. Ce réacteur devra intégrer un ensemble de métrologie de contrôle in situ pour monitorer les paramètres de dépôts en temps réel. Il sera connecté à une boite à gants pour travailler sous atmosphere controlée : cette boite à gants sera utilisée pour les caractérisations électrochimiques des matériaux déposés et intégrera un outil de caractérisation nanomécanique (nanoindentation) qui permettra de faire des tests operando.
Cet équipement sera à destination de l’Institut d’Electronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN), situé Avenue Henri Poincaré, 59652 Villeneuve d’Ascq Cedex, France.